喧囂的焊接實驗現場,隨著劉主任帶著滿意的結果和沉甸甸的圖紙離開,終于恢復了平靜。
但李曉宇的腳步,并沒有因此而停歇。
他轉身,穿過了重重安檢,來到了位于地下深處,那個全中心保密等級最高,也最安靜的地方——“精衛”計劃聯合攻關實驗室。
這里,沒有機器的轟鳴,沒有飛濺的火花。只有恒溫恒濕系統發出的輕微嗡嗡聲,和空氣中彌漫著的一種,近乎于神圣的潔凈氣息。
長春光機所所長張承平院士,正穿著全套的白色防塵服,站在一臺被厚厚的防輻射玻璃包裹著的,結構極其復雜的儀器前,全神貫注地觀察著示波器上的波形。
這是一臺,由“金陵中心”和長光所,耗時一年多,聯手打造的——超精密深紫外激光直寫光刻機。
“李總工,你來了。”看到李曉宇進來,張院士摘下護目鏡,雖然滿臉疲憊,但眼中卻閃爍著興奮的光芒,“光源穩定了!我們的‘全固態深紫外激光器’,連續運行了四十八小時,功率波動被控制在了千分之一以內!這是世界級的水平!”
李曉宇點了點頭,心中也松了一口氣。光源,是光刻機的心臟,它的穩定性,直接決定了刻劃線條的質量。
“那就開始吧。”李曉宇下達了指令,“讓我們看看,這只‘精衛’,到底能不能填平那片技術的汪洋大海。”
實驗開始。
在“女媧”系統那經過特殊優化的,納米級運動控制算法的驅動下,承載著一塊超純凈光學玻璃基板的“龍淵”氣浮工作臺,開始以一種肉眼無法察覺的,極其緩慢而平穩的速度移動。
與此同時,那束人眼不可見的深紫外激光,在精密光學系統的聚焦下,匯聚成一個直徑只有幾百納米的光斑,如同上帝的刻刀,精準地轟擊在玻璃表面的光刻膠上。
沒有聲音,沒有震動。
只有屏幕上,那一行行飛速跳動的坐標數據,在訴說著這場微觀世界里的“宏大工程”。
每一秒鐘,都有數以萬計的,寬度只有微米級的柵線,被整齊地排列在玻璃上。它們之間的間距誤差,被死死地控制在納米級別!
整整十個小時。
當最后一條柵線刻劃完成,工作臺緩緩停止時。
那塊原本透明的玻璃基板,在特殊的燈光照射下,折射出了如同彩虹般絢麗的,充滿了科技感的衍射光芒。
那是“莫爾條紋”的魔法,也是人類精密制造的巔峰體現。
經過最嚴格的檢測,結果讓所有人都歡呼雀躍。
“全長精度誤差:0.1微米!”張院士激動地揮舞著檢測報告,“這意味著,我們終于擁有了制造最高等級光柵尺和編碼器的母機!我們的‘精衛’,填海成功了!”
有了它,“夸父”伺服系統的高精度編碼器,就有了著落;“昆侖”機床的全閉環控制,就有了保障!中國的高端數控產業,終于補上了最后一塊短板!