1993年的冬天,對于江州“工業長城”基地來說,是一個充滿了變革與希望的季節。
幾輛滿載著設備和行李的大巴車,緩緩駛入了園區。
車上坐著的,正是賀云飛和他那支,在上海堅守了數年,如今終于等來了春天的光刻機研發團隊。
當賀云飛走下車,看著眼前那座氣勢恢宏的研發大樓,看著那一棟棟嶄新明亮的專家公寓,以及遠處那連綿成片,日夜轟鳴的現代化廠房時。
這位受盡了冷遇和經費短缺之苦的老專家,眼眶濕潤了。
“賀工,歡迎回家。”李建國熱情地迎了上去,握住他的手,“房子都安排好了,實驗室也準備就緒。在這里,您只需要操心一件事——技術。其他的,交給我們!”
賀云飛重重地點了點頭。他知道,從今天起,他和他的團隊,終于有了一個,可以安心鑄劍的家。
為了迎接這支“新軍”,李曉宇再次對“工業長城”的組織架構,進行了一次重大的戰略調整。
在隨后召開的全體擴大會議上,他正式宣布:
成立**“微電子裝備研究院”**!
由賀云飛擔任首任院長,張承平院士擔任首席科學家。
至此,以秦振華領導的“精密制造總院”、林濤領導的“算法與軟件研究院”,以及新成立的“微電子裝備研究院”為核心的,“三院鼎立”的宏大戰略格局,在“工業長城”正式成型!
這三大支柱,如同一只巨大的鼎,穩穩地托起了中國未來高端工業的脊梁。
“神光”計劃,在這個全新的架構下,立刻進入了快車道。
在第一次技術路線研討會上,李曉宇面對著賀云飛、張承平以及數十位光學、電子、機械領域的頂尖專家,拍板定下了“神光一號”的技術指標。
“我們不能好高騖遠,但也絕不能固步自封。”
李曉宇指著白板上的技術路線圖,沉聲說道。
“直接上深紫外(duv)還不現實,我們的配套產業鏈還跟不上。但是,我們也絕不能再去搞那些落后的接觸式光刻機。”
“我們要做的,是分步重復投影光刻機(stepper)!”
“光源,采用我們自己能造的高壓汞燈(g線)。分辨率目標,死死咬住0.8微米!這個精度,雖然比不上國際最頂尖的水平,但足夠滿足我們國家目前急需的,工業控制芯片和消費電子芯片的制造需求!”
“我們要先解決‘有無’的問題,再解決‘好壞’的問題!”
一場史無前例的“多兵種協同作戰”,在李曉宇的指揮下,轟轟烈烈地展開了。
精密制造總院承擔了“骨骼”的制造。秦振華調集了最精銳的力量,利用“盤龍母機”那恐怖的加工能力,為光刻機打造出了一個,重達數噸,但在微觀層面卻平整如鏡的花崗巖基座和超精密導軌系統。
算法研究院承擔了“神經”的連接。林濤帶領著他的軟件天才們,開始攻克光刻機最核心的控制難題——納米級工件臺對準算法。他們驚訝地發現,光刻機對運動精度的要求,竟然比五軸機床還要高出兩個數量級!這對他們的算法架構,提出了前所未有的挑戰。
而微電子研究院,則在賀云飛的帶領下,向著光刻機的心臟——投影物鏡系統,發起了決死沖鋒!
每一天,實驗室里都燈火通明。每一次數據的跳動,都牽動著無數人的心。
然而,就在“神光”初現曙光之時,外部的陰霾,卻再次襲來。
日本通產省,那雙一直盯著中國的陰鷙眼睛,終究還是察覺到了江州的異動。